VIBRO-METER传感器的基础知识一览

　　VIBRO-METER传感器对于压力的测量采用的是压力芯片，而压力芯片在可发生压力形变的硅膜片上集成的惠斯通电桥。该产品的生产工艺，其实就是MEMS技术的实际应用，MEMS是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术，使之对微米/纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字处理系统集成为一个整体单元的微型系统。

　　VIBRO-METER传感器的结构是氧化铝膜片与中空的绝缘介质构成一个内部为真空的电容式压力敏感元件，并连接传感器混合集成电路。传感器导入进气管的压力后，氧化铝膜片在进气压力的作用下产生变形，使其电容值发生改变，经混合集成电路处理后，输出与进气压力变化相对应的电信号。

　　VIBRO-METER传感器利用膜片构成一个电容值可变的压力敏感元件，膜片受力变形时，其电容值相应改变，由传感器测量电路将与压力相对应的电容变化转换为相应的电信号，该产品测量电路主要有频率检测式和电压检测式两种。

　　1、频率检测式：振荡电路的振荡频率随压力敏感元件电容值的大小变化而改变，经整流、放大后输出频率与压力相对应的脉冲信号。

　　2、电压检测式：压力敏感元件电容值的大小变化，经载波与交流放大电路的调制、检波电路的解调后，再经滤波电路的滤波，输出与压力变化相对应的电压信号。

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