AEROLAS气浮轴承

产品用途：
超精密二维测量平台
应用范围: 半导体技术
应用: 测量孔的通否/过光
行程: 340 mm x 330 mm
定位精度: < 10 nm （全程范围内）
驱动方式: 磨擦轮驱动
zui大加速度: 0.25 m/s2
高动态直线电机
采用AeroLas的空气轴承可以使直线电机有极其高的精度和高动态特性：实际加速度达到400 m/s2 (理论上可达 1.000.000 m/s2). 
应用于齿轮测量，几年来已连续运行60亿次以上
行程： 100 mm
负载：2 kg
高加速度双轨式直线电机
截面：500 mm x 250 mm)，加速度达300 m/s2且精密定位。 采用空气轴承，受温度变化影响小，电缆不动，行程： 150 mm
负载：10 kg
zui大加速度: > 300 m/s2
zui大速度: 4.7 m/s

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